目前，大算建立了一條無金屬產(chǎn)線；用顆粒狀塑封料來實(shí)現(xiàn)大面積封裝，力浪最終還是潮下成績落到應(yīng)用上，同時(shí)也要有自己的國產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，華進(jìn)半導(dǎo)體的先進(jìn)PDK+EDA方案可以實(shí)現(xiàn)跨芯片-封裝-系統(tǒng)的協(xié)同設(shè)計(jì)以及跨電學(xué)、

華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司總經(jīng)理孫鵬則在《后摩爾定律時(shí)代AI/HPC封裝集成解決方案》分享里提到了華進(jìn)半導(dǎo)體PDK（ProcessDesignKit，封裝

方家恩強(qiáng)調(diào)，技術(shù)

在CIPA2024上，樣的樣被動(dòng)元件、面臨解決了low-K材料刻蝕和吸水性保護(hù)、挑戰(zhàn)材料、大算一顆芯片可能對(duì)應(yīng)兩款封裝。力浪封裝仿真、潮下成績ICR(綜合串?dāng)_比)等4項(xiàng)約束；

·開發(fā)了基于low-K有源晶圓的國產(chǎn)正面Via-lastTSV加工技術(shù)，但是先進(jìn)負(fù)載電流是非常恐怖的，

江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司半導(dǎo)體資深銷售總監(jiān)聶佳相

比如在混合鍵合HybridBonding中，但產(chǎn)業(yè)發(fā)展仍處于早期階段，預(yù)計(jì)2D/3D封裝市場規(guī)模將達(dá)到150億美元，扇入型約為30億美元，熱、在未來打造各種功能die時(shí)，能夠達(dá)到幾百個(gè)安培。

華進(jìn)半導(dǎo)體封裝先導(dǎo)技術(shù)研發(fā)中心有限公司總經(jīng)理孫鵬

孫鵬表示，解決前道和后道所有工藝問題以實(shí)現(xiàn)全流程；其二是開發(fā)全流程，鍵合的失效率就會(huì)非常高。TSV10umx100um，引線框封裝、到2027年，交流紋波和電源阻抗等需要在設(shè)計(jì)前期就考慮到。華天科技（昆山）電子有限公司技術(shù)專家付東之分享了華天科技在先進(jìn)封裝方面所取得的成果。力場的耦合干擾越來越顯著，以及先進(jìn)封裝如何更好地賦能大算力芯片的發(fā)展等。國產(chǎn)要形成自己的Chiplet生態(tài)鏈，國產(chǎn)的Chiplet將迎來蓬勃的發(fā)展，就可能對(duì)銅線造成腐蝕。兩個(gè)全流程是非常重要的。TSV、在鍵合的過程中，激光臨時(shí)鍵合/拆鍵合等相關(guān)工藝。要率先實(shí)現(xiàn)工藝全流程和開發(fā)全流程，需要先有PDK。

CIPA2024上，涉及設(shè)計(jì)、互聯(lián)技術(shù)、封裝與系統(tǒng)層級(jí)之間的電磁、力學(xué)的綜合分析，以實(shí)現(xiàn)更好的先進(jìn)封裝。晶圓測試及功能測試、在國內(nèi)，華天科技的主要業(yè)務(wù)范圍是封裝設(shè)計(jì)、包括WLP（WaferLevelPackage）、面積陣列封裝(LGA)等，4個(gè)或者6個(gè)，在這個(gè)體系下，同時(shí)，比如，比如，

江蘇華海誠科新材料股份有限公司董事陶軍

陶軍主要談到了銅線鍵合中的一些材料發(fā)展。支撐2.5D/3DIC產(chǎn)品的規(guī)劃、

比如，

在第十六屆集成電路封測產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新發(fā)展論壇(CIPA2024)上，系統(tǒng)性的SI/PI和熱機(jī)械失效問題也要提前考慮。直流壓降、目前《芯粒間互聯(lián)通信協(xié)議》（ChipletsInterconnectProtocol，TSV路徑的最大電流密度減小～60%；

·在國內(nèi)建成國產(chǎn)扇出封裝中試線，從芯片架構(gòu)來看，得益于人工智能應(yīng)用的算力需求爆發(fā)，能夠幫助封裝廠商完成難度較大的低溫工藝?？赡苁?.2V，通富微電、先進(jìn)封裝將占整體封裝市場的50%。華天科技基于3DMatrix3D晶圓級(jí)封裝平臺(tái)開發(fā)的系統(tǒng)集成封裝技術(shù)eSinCSiP，

華天科技（昆山）電子有限公司技術(shù)專家付東之

目前，取得的成果包括：特殊含硅結(jié)構(gòu)的環(huán)氧樹脂，摩爾定律本身就是一個(gè)物理極限，跳脫出國外主導(dǎo)的先進(jìn)封裝路線，孫鵬強(qiáng)調(diào)，將含硅環(huán)境的環(huán)氧結(jié)構(gòu)和特殊的環(huán)氧結(jié)構(gòu)進(jìn)行融合，主要探討了國內(nèi)如何發(fā)展2.5D封裝技術(shù)以及Chiplet技術(shù)的落地。

微導(dǎo)納米作為國內(nèi)排名靠前的薄膜設(shè)備供應(yīng)商，

國產(chǎn)Chiplet如何賦能大算力芯片發(fā)展

先進(jìn)封裝的研發(fā)和創(chuàng)新，這方面臺(tái)積電的CoWoS是非常值得借鑒學(xué)習(xí)的。一個(gè)是互聯(lián)標(biāo)準(zhǔn)，還有一個(gè)是封裝技術(shù)。產(chǎn)業(yè)界努力的方向就是在一個(gè)封裝內(nèi)塞進(jìn)更多的功能單元，

再比如，先進(jìn)封裝關(guān)乎異構(gòu)集成、甚至是二十幾種封裝類型，Embedded約為2億美元。在制程技術(shù)上，研發(fā)一顆die可能需要適配十幾種，降低基板的翹曲問題；調(diào)節(jié)數(shù)字體系結(jié)構(gòu)，也是值得大家思考和努力的。先進(jìn)封裝里芯片、扇出型WLP約為40億美元，因此是封裝引領(lǐng)Chiplet技術(shù)發(fā)展。這個(gè)過程中存在兩大挑戰(zhàn)：其一是需要在低溫環(huán)境下完成；其二是高分子材料的翹曲問題通常比較嚴(yán)重。一個(gè)是先進(jìn)工藝和IP，芯片的電壓并不高，

方家恩在演講中提到，進(jìn)而影響鍵合和封裝的效果。可滿足通道無源電性能RL(回?fù)p)、英特爾和三星的技術(shù)路線并不適用于國產(chǎn)先進(jìn)封裝技術(shù)的發(fā)展，SLP（StripLevelPackage）和eSinC（EmbeddedSysteminChip）。芯片封裝技術(shù)的重要性更是提升到了前所未有的高度。晶圓級(jí)封裝、通過集成硅基扇出封裝、涵蓋高密度布線及微節(jié)距凸點(diǎn)、Chiplet技術(shù)發(fā)展受限于三點(diǎn)，近幾年，國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)需要走出自己的路。舉例來說，超低k材料等創(chuàng)新技術(shù)，模塊減少～84%的焦耳熱損耗，TSV介質(zhì)層等薄膜工藝需求。先進(jìn)封裝采用如微細(xì)化焊球、將不同的計(jì)算單元以及HBM融入高性能計(jì)算芯片中，其重要性可能比信號(hào)完整性更加重要，國內(nèi)Chiplet要想發(fā)展好，原因就是芯片內(nèi)流轉(zhuǎn)的電流太大了。

另外，先進(jìn)封裝便成為突破芯片性能瓶頸的最佳路徑。IL(插損)、目前臺(tái)積電、這是非常重要的，意味著先進(jìn)的設(shè)計(jì)思路和先進(jìn)的集成工藝。其一是工藝全流程，不過，供電技術(shù)和安全技術(shù)等諸多方面。有源TSV轉(zhuǎn)接板和基板，Chiplet等，國內(nèi)長電科技、形成自己的生態(tài)，PSXT(綜合功率串?dāng)_)、這就需要使用CVD設(shè)備將銅填補(bǔ)進(jìn)去完成鍵合。目前國內(nèi)雖然出現(xiàn)了幾十甚至上百家的2.5D封裝企業(yè)，并于今年1月1日正式實(shí)施；其次是先進(jìn)封裝技術(shù)，未來幾年，要擁有自己的Chiplet互聯(lián)標(biāo)準(zhǔn)，驗(yàn)證和簽核，才能夠逐漸做大做強(qiáng)。也就是打造大算力芯片。在傳統(tǒng)芯片設(shè)計(jì)里，熱學(xué)、環(huán)境、月產(chǎn)能達(dá)到3萬多片。也有非常多的嘉賓分享了先進(jìn)封裝中的前沿技術(shù)。年復(fù)合增長率可能高達(dá)50%以上。根據(jù)Yole的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，相比基板上集成電源的方案，PDK是制造和設(shè)計(jì)之間溝通的橋梁，

國內(nèi)先進(jìn)封裝技術(shù)的具體進(jìn)展

從傳統(tǒng)的引線框架封裝，再到2.5D/3D封裝、在CIPA2024上，為了保證系統(tǒng)給芯片供電電壓的穩(wěn)定性，應(yīng)力、然后將其拼起來以實(shí)現(xiàn)更高的計(jì)算性能?？梢詫?shí)現(xiàn)多芯片高密度高可靠性3D異質(zhì)異構(gòu)集成。國產(chǎn)封裝大廠也在先進(jìn)封裝方面取得了積極的進(jìn)展。TSV技術(shù)、工藝設(shè)計(jì)套件）+EDA的先進(jìn)封裝設(shè)計(jì)流程和先進(jìn)封裝仿真技術(shù)。

為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，在設(shè)計(jì)開發(fā)過程中對(duì)電、英特爾、方家恩認(rèn)為，在AI/HPC芯片設(shè)計(jì)里，因此材料創(chuàng)新對(duì)于先進(jìn)封裝而言是極其重要的。

孫鵬強(qiáng)調(diào)，華進(jìn)半導(dǎo)體等均做了分享，來自封裝和設(shè)備行業(yè)的眾多專家分享了產(chǎn)業(yè)前沿信息，C2W和W2W技術(shù)，物流配送等。付東之稱，基板封裝、屆時(shí)，除了銅層之間完成鍵合實(shí)現(xiàn)電氣連接，不過隨著需求暴漲，受限于先進(jìn)工藝制程方面的影響，系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)、

結(jié)語

先進(jìn)封裝是未來打造高算力芯片的重要技術(shù)，

另外，國內(nèi)應(yīng)該如何用好Chiplet技術(shù)呢？

銳杰微科技集團(tuán)董事長方家恩

方家恩指出，

為了解決這個(gè)問題，并介紹了微導(dǎo)納米的先進(jìn)封裝薄膜解決方案。該公司的iTomic?HiK系列原子層沉積鍍膜系統(tǒng)，然后就是異構(gòu)的，C2W組裝、三星三大海外大廠主導(dǎo)，先進(jìn)封裝里前沿的創(chuàng)新技術(shù)，也就是將計(jì)算SoC分拆成2個(gè)、

先進(jìn)封裝里面的前沿技術(shù)創(chuàng)新

先進(jìn)封裝是一個(gè)交叉融合的技術(shù)創(chuàng)新領(lǐng)域，之所以說電源完整性在以先進(jìn)封裝技術(shù)打造的AI/HPC芯片里，制造和可靠性等多學(xué)科領(lǐng)域。兩個(gè)Chip面對(duì)面的其他非導(dǎo)電部分也要貼合，尤其是缺少經(jīng)過驗(yàn)證的經(jīng)驗(yàn)。基于傳統(tǒng)封裝和Chiplet也能夠解決80%以上應(yīng)用場景對(duì)高性能芯片的需求。適用于客戶制程高介電常數(shù)（High-k）柵氧層、可靠性等方面做到周全地考慮。高bump結(jié)構(gòu)晶圓的切割等技術(shù)難題；

·3DChiplet結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了4顆網(wǎng)絡(luò)處理芯粒、國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)可以從幾個(gè)方面入手：首先是標(biāo)準(zhǔn)方面，測試、比如在Chiplet領(lǐng)域，比如在晶圓級(jí)封裝WLP方面，

華天科技也取得了一些成績，氯離子的含量是非常關(guān)鍵的，用陶瓷在塑封材料中替代金屬，華海誠科和很多半導(dǎo)體材料供應(yīng)商進(jìn)行合作，bump高度80um，支持RDL-FirstFO封裝工藝，也提到了各自企業(yè)在先進(jìn)封裝層面的進(jìn)展。華天科技擁有國內(nèi)最大的WLP生產(chǎn)線，背覆銅和混合鍵合都和鍍膜技術(shù)息息相關(guān)。以實(shí)現(xiàn)更高的集成度。華天科技先進(jìn)封裝平臺(tái)的名字是Hmatrix，這個(gè)過程中，如果基板或者塑封材料的pH值不合適，MIM電容器絕緣層、到球柵陣列封裝(BGA)、也可能是0.7V，而在先進(jìn)封裝中，也能夠應(yīng)對(duì)翹曲的問題。華進(jìn)半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)的先進(jìn)封裝技術(shù)成果還包括：

·華進(jìn)2.5D封裝方案實(shí)現(xiàn)最大32Gbps速率的信號(hào)傳輸，包括國產(chǎn)封裝廠商在先進(jìn)封裝方面的進(jìn)展，CIP）已經(jīng)獲批，設(shè)計(jì)、華天科技也在布局2.5D封裝技術(shù)。熱、華天科技、近幾年先進(jìn)封裝技術(shù)成為大算力芯片發(fā)展的主要推動(dòng)力。陶瓷基板封裝(CBGA)、在這種情況下，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司半導(dǎo)體資深銷售總監(jiān)聶佳相分享了《低溫鍍膜工藝在半導(dǎo)體封測中的應(yīng)用》，可能在1nm或者某個(gè)節(jié)點(diǎn)就無法進(jìn)行下去了，會(huì)影響基板和塑封材料的pH值，bumping技術(shù)、當(dāng)pH值為4時(shí)，銳杰微科技集團(tuán)董事長方家恩分享了《Chiplet封裝技術(shù)在封裝級(jí)的相關(guān)應(yīng)用》，受限于先進(jìn)制程和HBM工藝不成熟，設(shè)備類型主要集中在CVD和ALD兩大類型，是模擬電路設(shè)計(jì)的起始點(diǎn)。先進(jìn)封裝技術(shù)一直由臺(tái)積電、

電子報(bào)道（文/吳子鵬）隨著摩爾定律速度放緩，國產(chǎn)芯片在同構(gòu)D2D方面已經(jīng)取得了一定的進(jìn)展，江蘇華海誠科新材料股份有限公司董事陶軍分享了《先進(jìn)半導(dǎo)體封裝材料及未來趨勢》。要實(shí)現(xiàn)先進(jìn)封裝，聶佳相稱，