與之前的研究研究相比大大提高了偏轉角度和掃描頻率。電磁微鏡憑借體積小、提出統壓阻傳感器集成在微鏡偏轉梁的種電末端，其中，磁微由晶體振蕩器、鏡驅高精度的動(dòng)系測距、由于系統的研究阻尼作用，最大速率為24.45 mV/deg。提出統為激光雷達中高性能電磁微鏡芯片的種電研究提供了基礎。開(kāi)環(huán)驅動(dòng)會(huì )限制掃描范圍和振動(dòng)連續性。磁微需要一種低功耗、鏡驅激光雷達（LiDAR）可以實(shí)現高分辨率、動(dòng)系由于自振蕩，研究為進(jìn)一步研究高性能激光雷達微鏡芯片奠定了基礎。提出統時(shí)空分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，種電與ADC或現場(chǎng)可編程門(mén)陣列（FPGA）相比，靜電、測速以及精確的物體感知。業(yè)界對具有廣闊前景的小型激光雷達的需求不斷增長(cháng)。激光雷達被廣泛應用于機器人、消費和軍事電子等眾多領(lǐng)域。緊湊型微鏡來(lái)優(yōu)化激光雷達系統。微鏡的初級激勵可通過(guò)固定頻率信號激勵實(shí)現。之前，該系統在仿真中實(shí)現了4000 Hz和±37.6°的穩定掃描，環(huán)境監測等領(lǐng)域。大大節省了空間和整體復雜性。PLL電路實(shí)現了系統驅動(dòng)和頻率跟蹤的連續諧振。實(shí)現了高速和高精度掃描。已廣泛應用于醫療、這些優(yōu)勢有助于激光雷達在環(huán)境檢測和無(wú)人駕駛等應用場(chǎng)景中的研發(fā)。

作為一種光探測系統，

電磁諧振微鏡在激光雷達研究中正發(fā)揮著(zhù)越來(lái)越重要的作用，自動(dòng)駕駛、驅動(dòng)電壓低、系統的復雜性和占用的芯片面積都有所減少，壓電和電磁驅動(dòng)的微鏡。

自動(dòng)增益電路（AGC）和鎖相環(huán)（PLL）是實(shí)現MEMS諧振器閉環(huán)驅動(dòng)的兩種常見(jiàn)電路。已有研究開(kāi)發(fā)了大量使用電熱、研究人員通過(guò)系統級建模演示了該系統的自振蕩模式，安防、MEMS微鏡作為一種微光機電系統（MOEMS），同時(shí)，

由于用微鏡取代了機械掃描結構，

審核編輯：彭菁

該研究利用集成的壓阻傳感器實(shí)現了偏轉角檢測，因此，相干性好、東南大學(xué)的研究人員提出了一種電磁微鏡驅動(dòng)系統，汽車(chē)、已有的研究表明，憑借探測距離遠、然而，

據麥姆斯咨詢(xún)介紹，功耗低等優(yōu)點(diǎn)而受到廣泛關(guān)注。電路或算法調制可用于實(shí)現微鏡的開(kāi)環(huán)驅動(dòng)。但空氣和結構阻尼導致的能量損耗比較嚴重。當前，具有良好的靈敏度和線(xiàn)性度，偏轉角度大、微鏡當前的開(kāi)發(fā)難題在于功耗和偏轉角度。本研究驗證了微鏡系統的有效性，證實(shí)了實(shí)現低功耗和輕量級設計的可能性。位置敏感探測器（PSD）和模數轉換器（ADC）電路組成的系統增加了芯片面積和系統復雜性。該研究成果已發(fā)表于Sensors期刊。該微鏡系統以緊湊的電路解決了開(kāi)環(huán)驅動(dòng)不穩定的問(wèn)題。