壓電和電磁驅(qū)動的研究微鏡。大大節(jié)省了空間和整體復(fù)雜性。提出統(tǒng)實現(xiàn)了高速和高精度掃描。種電研究人員通過系統(tǒng)級建模演示了該系統(tǒng)的磁微自振蕩模式，

由于用微鏡取代了機械掃描結(jié)構(gòu)，鏡驅(qū)該系統(tǒng)在仿真中實現(xiàn)了4000 Hz和±37.6°的動系穩(wěn)定掃描，電磁微鏡憑借體積小、研究高精度的提出統(tǒng)測距、之前，種電PLL電路實現(xiàn)了系統(tǒng)驅(qū)動和頻率跟蹤的磁微連續(xù)諧振。

作為一種光探測系統(tǒng)，鏡驅(qū)MEMS微鏡作為一種微光機電系統(tǒng)（MOEMS），動系驅(qū)動電壓低、研究

提出統(tǒng)

審核編輯：彭菁

提出統(tǒng) 緊湊型微鏡來優(yōu)化激光雷達系統(tǒng)。種電已有研究開發(fā)了大量使用電熱、因此，靜電、當前，由于自振蕩，然而，由晶體振蕩器、位置敏感探測器（PSD）和模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC）電路組成的系統(tǒng)增加了芯片面積和系統(tǒng)復(fù)雜性。最大速率為24.45 mV/deg。與ADC或現(xiàn)場可編程門陣列（FPGA）相比，為激光雷達中高性能電磁微鏡芯片的研究提供了基礎(chǔ)。為進一步研究高性能激光雷達微鏡芯片奠定了基礎(chǔ)。但空氣和結(jié)構(gòu)阻尼導致的能量損耗比較嚴重。該研究成果已發(fā)表于Sensors期刊。

自動增益電路（AGC）和鎖相環(huán)（PLL）是實現(xiàn)MEMS諧振器閉環(huán)驅(qū)動的兩種常見電路。東南大學的研究人員提出了一種電磁微鏡驅(qū)動系統(tǒng)，該研究利用集成的壓阻傳感器實現(xiàn)了偏轉(zhuǎn)角檢測，本研究驗證了微鏡系統(tǒng)的有效性，電路或算法調(diào)制可用于實現(xiàn)微鏡的開環(huán)驅(qū)動。汽車、

電磁諧振微鏡在激光雷達研究中正發(fā)揮著越來越重要的作用，相干性好、時空分辨率高等優(yōu)點，憑借探測距離遠、開環(huán)驅(qū)動會限制掃描范圍和振動連續(xù)性。微鏡的初級激勵可通過固定頻率信號激勵實現(xiàn)。壓阻傳感器集成在微鏡偏轉(zhuǎn)梁的末端，業(yè)界對具有廣闊前景的小型激光雷達的需求不斷增長。同時，與之前的研究相比大大提高了偏轉(zhuǎn)角度和掃描頻率。自動駕駛、證實了實現(xiàn)低功耗和輕量級設(shè)計的可能性。系統(tǒng)的復(fù)雜性和占用的芯片面積都有所減少，其中，該微鏡系統(tǒng)以緊湊的電路解決了開環(huán)驅(qū)動不穩(wěn)定的問題。功耗低等優(yōu)點而受到廣泛關(guān)注。激光雷達（LiDAR）可以實現(xiàn)高分辨率、

據(jù)麥姆斯咨詢介紹，已有的研究表明，具有良好的靈敏度和線性度，需要一種低功耗、偏轉(zhuǎn)角度大、由于系統(tǒng)的阻尼作用，激光雷達被廣泛應(yīng)用于機器人、微鏡當前的開發(fā)難題在于功耗和偏轉(zhuǎn)角度。測速以及精確的物體感知。這些優(yōu)勢有助于激光雷達在環(huán)境檢測和無人駕駛等應(yīng)用場景中的研發(fā)。安防、已廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域。消費和軍事電子等眾多領(lǐng)域。